該燈管應用于對各種材料表面進行處理“超潔凈”處理的工業生產，紫外臭氧光清洗利用紫外光

子對有機物質所起的光敏氧化作用以達到清洗粘附在物體表面上的有機化合物（碳氫化合物）的目

的。采用能夠產生波長為254nm、185nm的紫外光UV燈，大多數有機化合物對其中254nm波長

的紫外光有較強的吸收能力，它們在吸收了紫外光之后，分解為離子、游離態原子、受激分子和中

性分子，這即光敏作用。而大氣中的氧氣在吸收了波長為185nm的紫外光子后產生臭氧O3和原子

氧O，產生的O3對254nm波長的紫外光又具有強烈的吸收作用，在光子的作用下，臭氧又會分解

為氧氣和激態氧原子O*，由于激態氧原子O*極其活潑，物體表面上的碳和氫化合物的光敏分解物

在它的氧化作用下，化合成可揮發性氣體：二氧化碳、氮氣和水蒸氣等，逸出物體表面，從而達到

徹底清除粘附在物體表面上的頑固有機物質的目的；且利用強紫外線的作用對于車燈表面改質硬

化。廣泛應用于LCD（ITO）玻璃、IC 基片、玻璃/石英制品等表面潔凈及車燈的改質等用途。